UL1000 Fab

好处

• 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作

• 通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。

• 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域

• 通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)

• 通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度

• 通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

• 对清洁度要求严苛的工业真空设备制造

• 在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前

• 真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持

• 工艺气体系统的检查和安装

• 半导体、平板显示器或太阳能电池制造