UL3000 Fab ULTRA

专为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、启动快、灵敏度高、测试结果快速准确、可靠性高等特点。

卓越的优势为UL3000的超模型（新）

更快的泵下降（疏散）时间由于更高的抽气速度。

总拥有成本（TCO）较低，由于低维护根粗泵。

由于HYDRO·S软件消除了水汽背景，使得快速到达敏感测量范围成为可能，所以提前开始泄漏检查

该UL3000法布超还提供了一个改进嗅探器的能力，通过使用良好的证明行SL3000，其中已高达10米长。该SL3000有一个单独的连接端口，因此没有连接到真空入口是必要的。